БОЛЬШАЯ СОВЕТСКАЯ ЭНЦИКЛОПЕДИЯ, БСЭ БОЛЬШАЯ СОВЕТСКАЯ ЭНЦИКЛОПЕДИЯ, БСЭ
Навигация:

Библиотека DJVU
Photogallery

БСЭ

Статистика:


Фотолитография

Значение слова "Фотолитография" в Большой Советской Энциклопедии


Фотолитография, 1) специальный фотография, процесс на фоторезистах, отличающийся высокой разрешающей
способностью. Цель Фотолитография – создать в слое фоторезиста «окна» заданной конфигурации для доступа травителя к расположенной под этим слоем полупроводниковой пластине с окисной плёнкой. Такие «окна» образуются при экспонировании фоторезиста в потоке ультрафиолетового излучения или в потоке электронов, в результате которого он теряет (негативный фоторезист) или приобретает (позитивный фоторезист) способность к растворению. Одним из многочисленных применений Фотолитография служит получение этим методом сотен тысяч мельчайших упорядоченно расположенных отверстий в масках цветных телевизоров. См. также Планарная технология. 2) Фотомеханический способ изготовления литографской печатной формы (см. Литография), при котором изображение с негатива копируется на светочувствительный слой, покрывающий поверхность литографского камня (или металла). После проявления копии её подвергают химической обработке, в результате которой поверхность разделяется на печатающие и пробельные элементы. В настоящее время (2-я половина 20 в.) Фотолитография применяется чрезвычайно редко. 3) Оттиск с литографской печатной формы, изготовленной по способу Фотолитография

 

В Большой Советской Энциклопедии рядом со словом "Фотолитография"

Фотолиз | Буква "Ф" | В начало | Буквосочетание "ФО" | Фотолюминесценция


Статья про слово "Фотолитография" в Большой Советской Энциклопедии была прочитана 4567 раз


Интересное